X61/2 1300B-1型数控精密平面研磨抛光机
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- 兰州瑞德实业集团有限公司 商铺
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- 品牌
- 风雷
- 型号
- X61/21300B-1型
- 产品别名
- 数控精密平面研磨抛光机
- 所在地
- 甘肃省兰州市城关区东岗东路1681号
- 手机号
- 18662293381
- 联系人
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产品详细介绍
品牌 | 风雷 | 型号 | X61/2 1300B-1型 |
产品别名 | 数控精密平面研磨抛光机 | 适用行业 | 光学光电子、视窗、ITO、半导体、太阳能光伏、计算机配件等行业 |
x62 1300b-1型数控精密抛光机
产品用途:
该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度抛光。
主要特点:
1.采用三个伺服电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度更快,能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小;
2.太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求;
3.下抛盘主轴采用交叉滚子轴承支撑,既可承受轴向力、径向力,又可克服倾覆力矩,保证了下抛盘的静态和动态的精度;
4.上下抛光盘采用斜齿轮传动,运转平稳;
5.可灵活的选配双电机、三电机、四电机(标配)拖动;
6.压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制,Zui小加压2kgf
压力过程实现了线性转换,压力控制精度±2kgf;
7.采用集中润滑装置,各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命;
8.上盘采用Zui新的“浮动”连接装置,解决了错盘问题;
9.该机具有防粘片装置,特殊的水路设计即可用来冲片防止粘盘,又可通冷却水用来冷却抛盘;
10.该机可存储20套工艺参数,每套工艺可设20步工序,以方便多种产品规格的切换加工使用;
11.结合伺服电机拖动,实现了游星轮自动定位复位。
技术参数:
1.抛光盘尺寸:公制φ1313 mm×φ757mm×50mm
2.游轮参数:公制:齿数z=100模数:m=3
英制:齿数z=144模数dp12
3.游轮数量: 10片
4.Zui小抛光厚度:0.30mm
5.Zui大抛光厚度:30mm
6.下抛光盘转速:
0~60rpm
7.上/下抛光盘驱动电机:7.5/15kwac380v1460rpm
8.齿圈驱动电机 4kwac380v1420rpm
9.太阳轮驱动电机: 2.2kwac380v1410rpm
10.气源:0.5~0.6mpa
11.外形尺寸(长×宽×高):2328mm×1608mm×3190mm
12.重量:约8000kg
精度指标:
一、主机精度:
1.下抛光盘端跳: 0.04mm
2.上下抛光盘平面度:0.015mm
3.太阳轮径向跳动: 0.08mm
4.齿圈径向跳动: 0.15mm
二、加工精度(修平器修研后)
1.一致性0.008mm
2.平面度0.004mm
3.平行度0.005mm
x61 1300b-1型数控精密研磨机
技术参数:
1.研磨盘尺寸:φ1300 mm×φ770
mm×50mm
2.游轮参数:公制:齿数z=100模数:m=3
英制:齿数z=144模数dp12
3.游轮数量: 10片
4.Zui小研磨厚度:0.30mm
5.Zui大研磨厚度:30mm
6.下研磨盘转速: 0~60rpm
7.上/下研磨盘驱动电机:7.5/15kwac380v1460rpm
8.齿圈驱动电机 4kwac380v1420rpm
9.太阳轮驱动电机:
2.2kwac380v1410rpm
10.气源:0.5~0.6mpa
11.外形尺寸(长×宽×高):2328mm×1608mm×3190mm
12.重量:约8000kg
精度指标:
一、主机精度:
1.下研磨盘端跳: 0.04mm
2.上下研磨盘平面度:0.015mm
3.太阳轮径向跳动: 0.08mm
4.齿圈径向跳动: 0.15mm
二、加工精度(修平器修研后)
1.一致性0.008mm
2.平面度0.004mm
3.平行度0.005mm
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