品牌 | 风雷 | 型号 | X61 640B 2M-5型双面研磨机 |
工作方式 | 行星式 | 类型 | 圆盘式研磨机 |
驱动方式 | 电动研磨机 | 作用对象 | 半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料 |
产品用途
该设备主要适用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的双面研磨加工,特别适用于光学玻璃的研磨。
主要特点
1.变频器配合异步电机拖动主机运转,实现了软停止、软启动,调速稳定,冲击小;
2.采用双电机拖动,上、下盘与齿圈由一电机拖动,太阳轮由另一电机拖动,可实现主副电机的同步调速与分别单独调速,能适应不同材料不同加工工艺对设备的要求;
3.内齿圈采用气缸驱动升降,太阳轮高低位置可调,满足了取放工件及调整游星载体啮合位置的要求;
4.压力采用四段计数控制方式,采用进口气动元件与电气元件,每段压力可调可控;
5.研磨机可配套相应的线位移测厚装置或其它测厚装置;
6.采用集中润滑装置,各相对运动及滑动表面都得到了充分的润滑,大大提高了设备的使用寿命;
7.整机采用龙门箱型结构,刚度好、稳定性好;
8.上盘系统采用独特的调心结构,调心灵活。
主要技术参数
1.研磨盘尺寸:φ640mm×φ235mm×30mm
2.游轮参数:公制:z=114m=2α=20°
英制:z=108dp12α=20°
3.Zui小研磨厚度:0.20mm
4.Zui大研磨厚度:30mm
5.同时安装游星载体数量:5片
6.研磨直径及承载量:φ75/20φ50/40
7.Zui大研磨直径:φ150mm
8.下盘转速:0-56rpm
9.气源:0.4~0.5mpa
10.主电机:4kwac380/220v1460rpm
11.副电机:0.75 kwac380v/220v
12.三相电泵:250wac380v/220v100l/min
13.外型尺寸:1000mm×1300mm×1980mm
14.重量:约1700kg