X61/2 1300B-1型数控精密平面研磨抛光机

x62 1300b-1型数控精密抛光机

产品用途：
该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度抛光。
主要特点：
1.采用三个伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小；
2.太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求；
3.下抛盘主轴采用交叉滚子轴承支撑，既可承受轴向力、径向力，又可克服倾覆力矩，保证了下抛盘的静态和动态的精度；
4.上下抛光盘采用斜齿轮传动，运转平稳；
5.可灵活的选配双电机、三电机、四电机（标配）拖动；
6.压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制，Zui小加压2kgf 压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kgf；
7.采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命；
8.上盘采用Zui新的“浮动”连接装置，解决了错盘问题；

9．该机具有防粘片装置，特殊的水路设计即可用来冲片防止粘盘，又可通冷却水用来冷却抛盘；

10.该机可存储20套工艺参数,每套工艺可设20步工序，以方便多种产品规格的切换加工使用；

11．结合伺服电机拖动，实现了游星轮自动定位复位。
技术参数：
1.抛光盘尺寸：公制φ1313 mm×φ757mm×50mm

2.游轮参数：公制：齿数z=100模数：m=3

英制：齿数z＝144模数dp12
3.游轮数量： 10片
4.Zui小抛光厚度：0.30mm
5.Zui大抛光厚度：30mm
6.下抛光盘转速: 0～60rpm
7.上/下抛光盘驱动电机：7.5/15kwac380v1460rpm
8.齿圈驱动电机 4kwac380v1420rpm
9.太阳轮驱动电机： 2.2kwac380v1410rpm
10.气源：0.5～0.6mpa
11.外形尺寸（长×宽×高）：2328mm×1608mm×3190mm
12.重量：约8000kg
精度指标：
一、主机精度：
1.下抛光盘端跳: 0.04mm
2.上下抛光盘平面度：0.015mm
3.太阳轮径向跳动： 0.08mm
4.齿圈径向跳动： 0.15mm
二、加工精度（修平器修研后）
1.一致性0.008mm
2.平面度0.004mm
3.平行度0.005mm

x61 1300b-1型数控精密研磨机

技术参数：
1.研磨盘尺寸：φ1300 mm×φ770 mm×50mm

2.游轮参数：公制：齿数z=100模数：m=3

英制：齿数z＝144模数dp12
3.游轮数量： 10片
4.Zui小研磨厚度：0.30mm
5.Zui大研磨厚度：30mm
6.下研磨盘转速: 0～60rpm
7.上/下研磨盘驱动电机：7.5/15kwac380v1460rpm
8.齿圈驱动电机 4kwac380v1420rpm
9.太阳轮驱动电机： 2.2kwac380v1410rpm
10.气源：0.5～0.6mpa
11.外形尺寸（长×宽×高）：2328mm×1608mm×3190mm
12.重量：约8000kg
精度指标：
一、主机精度：
1.下研磨盘端跳: 0.04mm
2.上下研磨盘平面度：0.015mm
3.太阳轮径向跳动： 0.08mm
4.齿圈径向跳动： 0.15mm
二、加工精度（修平器修研后）
1.一致性0.008mm
2.平面度0.004mm
3.平行度0.005mm