立式扩散炉
更新时间:2014-03-18 15:41:15 信息编号:2087344 发布者IP:112.226.174.29 浏览:132次- 供应商
- 青岛育豪微电子设备有限公司 商铺
- 认证
- 报价
- 请来电询价
- 所在地
- 山东省青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号
- 联系电话
- 0532-87671566
- 手机号
- 13864877323
- 联系人
- 陈庆建 请说明来自顺企网,优惠更多
- 让卖家联系我
产品详细介绍
§扩散炉:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,用2~8英寸工艺尺寸
系统组成:扩散炉主机、升降丝杠、微机控制柜等组成。
主要技术指标:
★炉管内径:¢90~¢500
★恒温区长度及精度:≤1000mm±0.5℃(300℃~1290℃)
★气体种类:n2、h2、o2、hcl等
★气源控制:mfc或浮子流量计
★推拉舟行程:Zui大1800mm
★推拉舟速度范围及精度:(20~1000)±2mm/min
★冷却方式:水冷+风冷
设备特性:
控制系统分类产品:
温控系统包括:日本fp23+sr23+sr23配置、日本mi13配置、以及日本fp93配置等等…
触摸屏配置包括:日本三菱、日本欧姆龙、日本松下、厦门宇电、以及公司自制研发8500系列高精度控温系统…控制柜、
气路管件控制系统:日本山武、日本smc、德国费斯托、以及国产七星华创等品牌…
系统组成:扩散炉主机、升降丝杠、微机控制柜等组成。
主要技术指标:
★炉管内径:¢90~¢500
★恒温区长度及精度:≤1000mm±0.5℃(300℃~1290℃)
★气体种类:n2、h2、o2、hcl等
★气源控制:mfc或浮子流量计
★推拉舟行程:Zui大1800mm
★推拉舟速度范围及精度:(20~1000)±2mm/min
★冷却方式:水冷+风冷
设备特性:
控制系统分类产品:
温控系统包括:日本fp23+sr23+sr23配置、日本mi13配置、以及日本fp93配置等等…
触摸屏配置包括:日本三菱、日本欧姆龙、日本松下、厦门宇电、以及公司自制研发8500系列高精度控温系统…控制柜、
气路管件控制系统:日本山武、日本smc、德国费斯托、以及国产七星华创等品牌…