微控扩散炉

§系统组成：扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排毒柜、微机控制柜
扩散炉管数：1~4管

§功能特点

§★全中文windows操作界面，可编辑参数，操作方便。
★可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。
★工艺曲线的自动运行控制功能。  
★自动运行中可暂停/继续运行功能。
★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。  
★智能升降温斜率制功能。
★pid参数自整定功能。  
★系统故障的检测与报警功能。
★智能悬臂推拉舟控制功能。 
★停电后断点继续运行功能。
★工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）。
★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。

§主要技术指标：
★炉管内径：¢90~¢240（2英寸~6英寸）  
★恒温区长度及精度：≤1000mm±0.5（300℃~1290℃）
★控温仪表：进口高精度控温仪  ★气源路数：主管道1~4路  ★气体种类：n2、h2、o2、hcl等
★气源控制：mfc或浮子流量计  ★推拉舟行程：Zui大2000mm★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）±2mm/min   ★推拉舟方式：简易式、悬臂式、sic硅桨式★冷却方式：水冷+风冷   ★工控机：工控机控制
设备特性：
具有多条工艺曲线，调用方便快捷；运行中，具有停电记忆功能触摸微机界面，操作方便；具有超温保护功能