微控扩散炉
更新时间:2014-03-18 15:43:04 信息编号:2087334 发布者IP:112.226.174.29 浏览:80次- 供应商
- 青岛育豪微电子设备有限公司 商铺
- 认证
- 报价
- 请来电询价
- 所在地
- 山东省青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号
- 联系电话
- 0532-87671566
- 手机号
- 13864877323
- 联系人
- 陈庆建 请说明来自顺企网,优惠更多
- 让卖家联系我
产品详细介绍
§系统组成:扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排毒柜、微机控制柜
扩散炉管数:1~4管
扩散炉管数:1~4管
§功能特点
§★全中文windows操作界面,可编辑参数,操作方便。
★可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。
★工艺曲线的自动运行控制功能。
★自动运行中可暂停/继续运行功能。
★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。
★智能升降温斜率制功能。
★pid参数自整定功能。
★系统故障的检测与报警功能。
★智能悬臂推拉舟控制功能。
★停电后断点继续运行功能。
★工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)。
★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。
★可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。
★工艺曲线的自动运行控制功能。
★自动运行中可暂停/继续运行功能。
★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。
★智能升降温斜率制功能。
★pid参数自整定功能。
★系统故障的检测与报警功能。
★智能悬臂推拉舟控制功能。
★停电后断点继续运行功能。
★工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)。
★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。
§主要技术指标:
★炉管内径:¢90~¢240(2英寸~6英寸)
★恒温区长度及精度:≤1000mm±0.5(300℃~1290℃)
★控温仪表:进口高精度控温仪 ★气源路数:主管道1~4路 ★气体种类:n2、h2、o2、hcl等
★气源控制:mfc或浮子流量计 ★推拉舟行程:Zui大2000mm★推拉舟速度范围及精度:(20~1000)±2mm/min ★推拉舟方式:简易式、悬臂式、sic硅桨式★冷却方式:水冷+风冷 ★工控机:工控机控制
设备特性:
具有多条工艺曲线,调用方便快捷;运行中,具有停电记忆功能触摸微机界面,操作方便;具有超温保护功能
★炉管内径:¢90~¢240(2英寸~6英寸)
★恒温区长度及精度:≤1000mm±0.5(300℃~1290℃)
★控温仪表:进口高精度控温仪 ★气源路数:主管道1~4路 ★气体种类:n2、h2、o2、hcl等
★气源控制:mfc或浮子流量计 ★推拉舟行程:Zui大2000mm★推拉舟速度范围及精度:(20~1000)±2mm/min ★推拉舟方式:简易式、悬臂式、sic硅桨式★冷却方式:水冷+风冷 ★工控机:工控机控制
设备特性:
具有多条工艺曲线,调用方便快捷;运行中,具有停电记忆功能触摸微机界面,操作方便;具有超温保护功能