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磁控平面阴极靶

更新时间:2015-10-12 16:50:11 信息编号:2298396 发布者IP:113.116.15.140 浏览:139次
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深圳市昊光机电科技应用有限公司 商铺
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产品详细介绍

 

平面溅射阴极
特点:
1、 采用独特的磁路设计,突破传统模式,更符合磁控溅射的理念。
2、 采用独特的结构设计,可以内置、外置,更符合使用要求。
3、 更高的溅射率,离子密度更强。
4、 更高的利用率,高达40%以上。
5、 尺寸范围:300-3000mm区间,保持一致的均匀性
6、使用范围:如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等
应用领域:
半导体、MEMS、TFT、ITO、LOW-E玻璃、硬质涂层、装饰性膜层
所属分类:中国机械设备网 / 金属加工
本页链接:http://product.11467.com/info/2298396.htm
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