PECVD化学气象沉积设备

更新时间：2015-10-12 16:50:45 信息编号：2298380 发布者IP：113.116.15.140 浏览：160次

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1、设备整体尺寸：2000mm*18000mm*1600mm（宽*深*高）

2、真空室尺寸：直径700、900、1100mm

3、平行板电极尺寸：直径600、800、1000mm

4、电极冷却及调节：水冷，可调节

5、真空系统：粗抽泵+分子泵机组

6、极限真空度：1*10-6mabr。

7、溅射电源：AE 射频直流电源3KW-5KW-10KW

8、工艺匹配：全自动匹配

9、气体控制：MKS 质量流量控制器 4路

10、真空检测：MKS 薄膜压力规

11、加热系统：石英管加热或热电阻加热 5KW-8KW-12KW

12、控制方式：全自动控制系统

所属分类：中国机械设备网 / 其他行业专用设备
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深圳市昊光机电应用科技有限公司是一家集科研、开发、生产、贸易为一体的高新技术企业。公司积极引进国外先进制造技术，发展创新，结合生产实际，逐渐形成以光盘母盘制造、精密微结构制造、材料表面真空处理、等离子 ...

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