LIGA三维精密电铸机

更新时间：2015-10-12 16:50:55 信息编号：2298355 发布者IP：113.116.15.140 浏览：247次

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1．设备描述

精密电铸机整机由主构架、排风罩、水/气路、槽体和电气控制等组成。外形尺寸约为：530mm（长）×420mm（宽）×520mm（高）。机箱槽体均采用进口PP板焊接而成

2.电脑程序控制：可控制温度、电流,刮板搅拌器速度,安培/小时计算电镀厚度。

3.电镀槽体包括:

① 镀槽尺寸：工作槽:200×250×185 (镀槽包括盖子和水位刻度)在保证镀槽合理使用与提高性能前提下,可对工作槽尺寸与结构进行整修改。

② 液体容量暂定为:20～30立升 (包括储液槽)

③ 4″6″夹具各二套(阴极)采用进口板材与钛合金制造

④ Zui大电镀尺寸:6″

⑤ 平均度：厚度0.5mm, ≤±5～10%

⑥ 刮板上下摆动, (刮板叶紧靠近夹具，摆动方向为平行被镀物方向),摆动距离:40mm,,摆动速度:每分钟0～60次，钛篮正向面积为：≤150mm×150mm.钛篮配备阳极过滤袋）

⑦ 钛合金导轨(阳极电集)

⑧ 阳极纵向移动,动作于钛合金制作导轨中(可调节阴/阳极距离),

⑨ 挡板架置于阴/阳极之间,受制于钛合金导轨 (可调整与阴/阳极距离)。

(依据离子沉积的状态,采用更换挡板调整遮蔽区的大小)。

⑩ 自动衡温:采用铁氟龙发热器和钛金属制作冷却器。

⑪ 温度范围：室温～60℃。稳态精度±5℃，加热器功率1KW，温度范围可按需要设定。

⑫ 镀槽两侧配有氮气喷枪和纯水喷枪各一支。

4.电源：

① EP100-A 型号:It6921/5A 电源精度：1毫安(可调), 电压0～18V, 100 W

②Tektronix.Afg3021B2B信号发生器。

③功率放大

实现直流、交流可调，交流包括方波和三角波，方波和三角波的周期可调，Zui小周期小于1ms，电源精度1mA，Zui大电流1.5A。

5.溶液循环系统

①采用立式耐强腐蚀液氟塑泵

②循环次数：每小时30～50次

③采用高密度过滤器过滤，过滤精度：0.45微米

6.动力需求

氮气压力： 0.3～0.5Mpa

氮气管径: 1/8″(接φ6mmPU管)

纯水压力： 0.2～0.3Mpa

纯水管径: 3/8″(6分PPR油刃)

设备废气排风量： ≥8500L/min/每个排风口

电源：AC220V 50Hz

总功率：3KW

所属分类：中国机械设备网 / 化工实验设备
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