HGPCVD－280离子蚀刻机

更新：2015-10-12 16:50 编号：1814294 IP：113.116.16.127 浏览：174次

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设备规格：HGPCVD－280离子蚀刻机
整机规格： 500×500×600（长×宽×高）mm

反应室尺寸：280×60（直径×高）mm 316(不锈钢)

射频功率：0～1000W（连续可调） AE PE-1000型号

流量计：进口质量流量控制器，50sccm，20sccm各两件

真空计：MKS 10Torr

工作模式：蚀刻+PECVD

整机输入功率： 2KW（含真空泵）
整机重量：100 Kg

所属分类：中国机械设备网 / 蚀刻机
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