HGPCVD-280离子蚀刻机
更新时间:2015-10-12 16:50:52 信息编号:1814294 发布者IP:113.116.16.127 浏览:165次- 供应商
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产品详细介绍
设备规格:HGPCVD-280离子蚀刻机
整机规格: 500×500×600(长×宽×高)mm
整机规格: 500×500×600(长×宽×高)mm
反应室尺寸:280×60(直径×高)mm
316(不锈钢)
射频功率:0~1000W(连续可调) AE
PE-1000型号
流量计:进口质量流量控制器,50sccm,20sccm各两件
真空计:MKS 10Torr
工作模式:蚀刻+PECVD
整机输入功率: 2KW(含真空泵)
整机重量:100 Kg
整机重量:100 Kg
主要经营:激光设备、真空镀膜机、DPC陶瓷基板、陶瓷金属化加工
深圳市昊光机电应用科技有限公司是一家集科研、开发、生产、贸易为一体的高新技术企业。公司积极引进国外先进制造技术,发展创新,结合生产实际,逐渐形成以光盘母盘制造、精密微结构制造、材料表面真空处理、等离子 ...
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