AME-8100RIE离子蚀刻机

更新时间：2015-10-12 16:53:43 信息编号：1696661 发布者IP：113.92.56.227 浏览：202次

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1、设备名称：Applied Matertials AME-8100

2、设备品牌：英国Applied Matertials

3、设备型号：AME-8100

4、设备中文名字：RIE离子刻蚀设备

5、设备功能：等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4“，5”或6“晶圆。

6、设备描述：

6.1、真空系统：爱德华干泵+CTI冷凝泵+LEYBOLD分子泵

6.2、真空检测：TC guage +ION gauge +MKS薄膜压力规

6.3、过程检测：激光薄膜厚度检测

6.4、工作气体：5路工作气体+环行布气系统

6.5、工件尺寸：4寸-6 寸，可改进到更大尺寸。如4寸，可装载24片

6.6、工作电源：射频功率源+匹配箱

6.7、控制系统：全自动工艺流程，高集成控制系统

6.8、安全保护：全面考虑安全因素，人性化设计。

所属分类：中国机械设备网 / 蚀刻机
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