TGP-600/800多弧离子镀膜机
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- 北京泰科诺科技有限公司 商铺
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- 品牌
- 北
- 电镀电源
- 双脉冲电源
- 电镀位置
- 多弧离子镀
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- 北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号
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产品详细介绍
品牌 | 北 | 电镀电源 | 双脉冲电源 |
电镀位置 | 多弧离子镀 | 镀种 | 工具镀装饰镀 |
多弧离子镀膜机主要由镀膜腔室、6或9套多弧靶、多弧电源,扩散泵系统、旋转基片台、管状加热器、气路系统、水路系统、控制系统等组成。该设备具备6或9靶共溅射功能,可制备导电膜、半导体膜等单层或多层膜。控制系统采用手/自动控制。薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛,沉积薄膜效率高,适用于工具镀、装饰镀等。
技术参数
设备名称:tgp-600多弧离子镀膜机/tgp-800多弧离子镀膜机
真空室尺寸:φ600mm×h600mm/φ800mm×h900mm
可镀空间:φ300mm×h300mm/φ500mm×h600mm
基片台:0-20rpm、磁流体轴密封、公自转基片台
多弧靶:6或9只多弧靶
电源:多弧电源、偏压电源
工件烘烤温度:室温至500℃可控可调
真空室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷腔室
真空系统:扩散泵+机械泵+维持泵,从大气至10-3pa恢复真空时间≤20min
极限真空:5.0×10-4pa
控制系统:自动抽真空
报警及保护:对泵、靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施
选购件:冷却循环水机
主要经营:真空设备 ; 镀膜设备 ; 镀膜材料 ; 磁控溅射镀膜 ; 电子束蒸发镀膜 ; 电阻加热蒸发镀膜 ; 真空电源
北京泰科诺科技(集团)公司成立于1997年,是一家专业从事真空设备的研发、生产、销售的专业化公司。公司位于北京市海淀区西三旗,乌鲁木齐设有分公司。公司主要技术骨干来源于中科院各单位,充分发挥中科院的人 ...
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