ZHG-450感应蒸发镀膜设备

zhg-450型感应蒸发镀膜设备，由高真空抽气系统、优质不锈钢真空腔室、感应加热炉、耦合线圈等组成。基片台旋转速度0至20rpm可调，Zui高加热温度为500℃，可调可控。整机结构紧凑、占地小、操作方便、抽真空速度快。镀膜过程的控制精度、可靠性和重复性由计算机自动控制。本机有以下特点：1、配合负偏压，感应耦合电离，可将蒸发材料离化，提高膜层质量，附着力强、针眼少、镀层厚且均匀；2、可进行反应蒸发，蒸镀化合物材料；3、产量大，蒸发速率为电阻蒸镀的两倍以上，可实现批量生产。

技术参数

真空室尺寸及材料：φ450mm×h550mm 不锈钢腔体

基片台尺寸：φ200mm

基片台转速：0至20rpm可调

感应蒸发源：30kw

耦合源：rf500w 1台

真空系统：分子泵+机械泵

极限真空：8.0×10-5pa

抽速：从大气抽到10-3pa小于或等于20分钟

控制方式：自动抽真空

报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施

选购件：冷却循环水机