Activator 150 高温退火炉
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- 上海驰舰半导体科技有限公司 商铺
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- 品牌
- Centrotherm
- 型号
- Activator150高温退火炉
- 用途
- 退火
- 所在地
- 中国(上海)自由贸易试验区金粤路202号1幢812、815室
- 联系电话
- 86 021 60751826
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产品详细介绍
品牌 | Centrotherm | 型号 | Activator 150 高温退火炉 |
用途 | 退火 |
centrotherm activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物(sic)或镓-氮化合物(gan) 设备的后植入烧结而设计开发。activator 150 可用于多种类型炉体, 如研发炉和批量生产炉, 且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的独特设计允许处理温度高达 1850 °c 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低,所以 activator 150 可实现生产具有成本效益。
高活化率 表面粗糙程度Zui小 温度Zui高达 1850°c 批量规模高达 50硅片(150mm) 加热率Zui高达 150 k/min 通过sih4可实现硅“过压”我们的其他产品
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