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verticoo 200 批量生产垂直系统

信息编号:1274616 浏览:158次
供应商
上海驰舰半导体科技有限公司 商铺
认证
报价
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品牌
centrotherm
型号
verticoo200
用途
LPCVD、扩散、氧化、退火
所在地
中国(上海)自由贸易试验区金粤路202号1幢812、815室
联系电话
86 021 60751826
联系人
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产品详细介绍

品牌 centrotherm 型号 verticoo 200
用途 LPCVD、扩散、氧化、退火

设计用于大量生产, 具有产量Zui大化、灵活性高之特点,verticoo 200 适用于所有标准大气压和低压 cvd 工艺。带双工艺舟处理的单管装置可降低处理时间、购置成本和维护成本。

每批Zui高达150硅片 自动对准 双工艺舟处理 水冷加热箱 占用空间小 可进行并排安装
所属分类:中国机械设备网 / 电子电器生产线
本页链接:http://product.11467.com/info/1274616.htm
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