verticoo 200 批量生产垂直系统
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- 上海驰舰半导体科技有限公司 商铺
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- 品牌
- centrotherm
- 型号
- verticoo200
- 用途
- LPCVD、扩散、氧化、退火
- 所在地
- 中国(上海)自由贸易试验区金粤路202号1幢812、815室
- 联系电话
- 86 021 60751826
- 联系人
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产品详细介绍
品牌 | centrotherm | 型号 | verticoo 200 |
用途 | LPCVD、扩散、氧化、退火 |
设计用于大量生产, 具有产量Zui大化、灵活性高之特点,verticoo 200 适用于所有标准大气压和低压 cvd 工艺。带双工艺舟处理的单管装置可降低处理时间、购置成本和维护成本。
每批Zui高达150硅片 自动对准 双工艺舟处理 水冷加热箱 占用空间小 可进行并排安装我们的其他产品
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