X62 305-2型单面抛光机
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- 型号
- X62305-2型抛光机
- 品牌
- 风雷
- 电源电压
- 380V
- 所在地
- 甘肃省兰州市城关区东岗东路1681号
- 手机号
- 18662293381
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产品详细介绍
型号 | X62 305-2型抛光机 | 品牌 | 风雷 |
电源电压 | 380V | 抛光轮直径 | φ820(mm) |
重量 | 约3000(kg) | 适用范围 | 用于直径100mm以下的硅片、锗片、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石等片状材料的单面高精度抛光加工。 |
一、设备用途
本机适用于直径100mm以下的硅片、锗片、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石等片状材料的单面高精度抛光加工。
二、主要特点
ø该设备采用了四个抛光头主动驱动方式,变频调速,设备运转平稳、使用可靠、操作方便。
ø主抛光盘旋转采用变频调速,机器起动、停止平稳。
ø主抛盘采用水冷方式,冷却方式的内部结构做了明显的改进。
ø主抛盘采用红外测温、控温装置。
ø抛光过程分三个阶段(三阶段时间控制自动切换)。
(1)阶段一(轻抛):通抛光液,工作压力抛光头自重减去反压压力。
(2)阶段二(主抛):通抛光液,工作压力为抛光头自重加正压压力减去反压压力。
(3)阶段三(水抛):通去离子水,抛光压力与阶段一相同。
ø配有冲洗开关喷头。
ø承片盘为氧化铝陶瓷。
ø抛光头升、降及正反压采用主令开关控制电磁阀和精密减压阀调节控制,且四个抛光头分别控制。
ø主传动传动采用了住友的蜗轮蜗杆减速箱,四个抛光头传动采用了四个住友减速电机驱动。
三、设备基本参数:
l下抛光盘直径φ820mm
l承片盘直径φ305mm
l抛光头数量4
l气缸直径φ140mm
l抛光头升降行程180mm
l抛光头自重{包括活塞、活塞杆、承片盘}约53kg
l气缸工作时气压调整范围0--0.15mpa
l红外测温仪控温范围0-100℃
l抛光过程各阶段时间设定范围:
阶段一(轻抛)0---9999s
阶段二(主抛)0---9999s
阶段三(水抛)0---9999s
l抛光件Zui大直径φ300mm
l抛光硅片适合直径φ50-φ100mm
l主电机11kw380v50hz
l液泵电机370w
l抛光头驱动电机4x0.75kw
l下抛光盘转速0-80rpm(调频调速)
l抛光头转速0-63rpm(调频调速)
l电源三相380v±10%。
l设备外型尺寸1950x1150x2150mm
l设备重量约3000kg
三、加工能力
单头承片量:5片(4〃)8片(3〃)
整盘承片量:20片(4〃)32片(3〃)
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