品牌 | TOKYO KEISO 东京计装 | 型号 | P-821 |
类型 | 面积式流量计 | 测量范围 | 3.333~33.334(m3/h) |
精度等级 | ±5%(F.S.) | 适用介质 | 气体(空气) |
工作压力 | 0.8(MPa) | 工作温度 | 80(℃) |
概要
Zui适于半导体生产过程中各种气体的测量。
体型小,广泛应用于半导体生产装置的中心设备。
标准规格
测量对象: 气体(空气)
测量范围: 参照下表
有効刻度范围: 10比1(部分10比2)
流量指示精度:±5%(f.s.)
Zui大使用压力:0.8mpa*
Zui高使用温度: 80°c
标准材料: 参照下表
标准材料
部品名 |
标准材料 |
本体 |
scs14 |
锥形管 |
耐热玻璃 |
浮子 |
sus316,玻璃,红宝石 |
垫圈 |
氟橡胶 |
阀门轴 |
sus316 |
阀门配件 |
sus316 |
阀门 |
sus316 |
侧板 |
spcc |
挡板 |
丙烯树脂 |
p-821系列标准产品规格表
产品编号 |
流体规格 |
制作条件 |
|||
流体 |
流量范围 |
流量单位 |
阀门位置 |
规格 |
|
p-821-a6 |
air |
0.2~2 |
l/min(nor) |
下 |
1atm、20℃ |
*标准现货测试压力为0.7mpa