品牌	TOKYO KEISO 东京计装	型号	P-821
类型	面积式流量计	测量范围	3.333~33.334（m3/h）
精度等级	±5％(F.S.)	适用介质	气体(空气)
工作压力	0.8（MPa）	工作温度	80（℃）

概要

最适于半导体生产过程中各种气体的测量。

体型小，广泛应用于半导体生产装置的中心设备。

标准规格

测量对象： 气体（空气）

测量范围：　参照下表

有効刻度范围：　10比1（部分10比2）

流量指示精度：±5％（f.s.）

最大使用压力：0.8mpa*

最高使用温度：　80°c

标准材料：　参照下表

标准材料

部品名	标准材料
本体	scs14
锥形管	耐热玻璃
浮子	sus316,玻璃,红宝石
垫圈	氟橡胶
阀门轴	sus316
阀门配件	sus316
阀门	sus316
侧板	spcc
挡板	丙烯树脂

p-821系列标准产品规格表

产品编号	流体规格			制作条件
	流体	流量范围	流量单位	阀门位置	规格
p-821-a6	air	0.2～2	l/min（nor）	下	1atm、20℃

*标准现货测试压力为0.7mpa