品牌 | TOKYO KEISO 东京计装 | 型号 | P-821 |
类型 | 面积式流量计 | 测量范围 | 0.167~8.3335(m3/h) |
精度等级 | ±5%(F.S.) | 适用介质 | 气体(空气) |
工作压力 | 0.8(MPa) | 工作温度 | 80(℃) |
概要
Zui适于半导体生产过程中各种气体的测量。
体型小,广泛应用于半导体生产装置的中心设备。
标准规格
测量对象: 气体(空气)
测量范围: 参照下表
有効刻度范围: 10比1(部分10比2)
流量指示精度:±5%(f.s.)
Zui大使用压力:0.8mpa*
Zui高使用温度: 80°c
标准材料: 参照下表
标准材料
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p-821系列标准产品规格表
产品编号 |
流体规格 |
制作条件 |
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流体 |
流量范围 |
流量单位 |
阀门位置 |
规格 |
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p-821-b1 |
air |
10~100 |
ml/min(nor) |
上 |
1atm、20℃ |
p-821-b2 |
〃 |
20~200 |
〃 |
〃 |
〃 |
p-821-b3 |
〃 |
30~300 |
〃 |
〃 |
〃 |
p-821-b4 |
〃 |
50~500 |
〃 |
〃 |
〃 |
*标准产品测试压力为0.7mpa