团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

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供应商: 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司
认证: 资质核验：
已通过营业执照认证

入驻顺企：
第
1
年

主体名称：
鹏城微纳技术（沈阳）有限公司

组织机构代码：
91210104MA7LH39L93
报价: 请来电询价
品牌: 鹏城微纳
型号: 非标定制
产地: 沈阳
关键词: 团簇式OLED装备,OLED镀膜设备,OLED蒸镀工艺装备,团簇式镀膜工艺,真空镀膜设备
所在地: 辽宁省沈阳市大东区望花南街15号
电话联系: 13632768393
邮箱: sales@hitnano-sy.com
市场主管: 戴小姐 请说明来自顺企网，优惠更多

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产品详细介绍

本产品是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”，是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线)和G2.5（2.5代线）的研发设计和生产制造。
项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题（如：源炉技术、精准对位技术（对位精度达到1.5μm）、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等）。
公司可对外承接OLED的G1和G2.5工艺线的设计制造。

应用领域

可广泛用于OLED器件开发、量子点开发、薄膜太阳能电池器件研发、OLED微显示的研发和生产、OLED材料验证、VR（Micro-oled虚拟现实）、OLED照明等。

主要技术指标

指标	参数
对位精度	CCD精密对位≤1.5μm 机械对位≤150μm
膜厚均匀性和重复	±2%
总体技术路线	采用cluster方案
工艺流程	设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂

设备构成

相关产品：团簇式OLED装备 , OLED镀膜设备 , OLED蒸镀工艺装备 , 团簇式镀膜工艺 , 真空镀膜设备

所属分类：中国机械设备网 / 喷涂机
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主要经营：高真空磁控溅射镀膜机，PVD物理气相沉积设备，CVD化学气相沉积设备，MBE分子束外延设备，金刚石散热晶圆片

鹏城微纳技术（沈阳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术、市场和产业的交叉点，坚持创新与可持续发展，致力于解决产业的技术瓶颈和国产化难题，助力产业链的自主可控。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计和生产制造基地。公司业务是微纳技术、精密制造及原子级制造，具体应用领域包括半导体和泛半导体材料、工艺、装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及装备的升级改造， ...

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