爱德华EXT255HI_帕纳光电_分子泵EXT2
更新时间:2015-11-20 08:47:40 信息编号:4008169 发布者IP:113.65.193.173 浏览:42次- 供应商
- 广州帕纳光电科技有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第9年主体名称:广州帕纳光电科技有限公司组织机构代码:9144011105656004XT
- 报价
- 人民币¥100.00元每件
- 品牌
- Varian
- 型号
- NH1615
- 关键词
- 爱德华EXT255HI,分子泵EXT255HI, EXT255HI分子泵生,EXT255HI
- 所在地
- 广州市白云区白云大道北342号一楼(仅限办公用途)
- 手机号
- 13929503213
- 经理
- 冯超林 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
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分子泵的清洗:
一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下: 1.关掉分子泵,进行排气。
2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。 3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等 4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
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优点
涡轮分子泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑轴承,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵
气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
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