前级管道设安全阀 :
如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀,就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时,前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油,之后通过涡轮分子泵进入真空室,这种现象称为油污染,被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。
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更换轴承
在分子泵中Zui容易损坏的就是轴承了,所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换,我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是,在每次更换轴承的时候,油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具(真实自己可以加工的)。