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分子增压泵是一种新型的高真空泵，它Zui大的优点是清洁、节能，中真空具有超强的抽气能力，清洁真空。各种类型的真空泵由于工作机理和结构的不同所获得的真空质量是不一样的，可以分为无油真空，清洁真空和普通真空。无油真空即无任何油蒸汽污染的真空，是真空质量的Zui高境界，低温泵、离子泵以及各类干式泵可以实现无油真空。清洁真空不是无油，而是真空中的油蒸汽分压可以降到极低的水平，从而使真空质量得到很大的提升。