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分子增压泵压缩级的动轮与吸气级完全一样，也是平圆盘，而静轮却有区别，如 图16。压缩级的静轮是在较厚的圆盘上两边开上螺旋槽，两边的螺旋槽方向根据需要可以相同也可以相反，这样每侧的螺旋槽与相邻的动轮也构成了螺旋抽气通道，只不过此时抽气通道四个壁面，三个是静止的，仅一个是运动的，经吸气级压缩过的气体在压缩级已不需太高的抽动系数。如压缩级静轮的螺旋方向与吸气级静轮螺旋方向相反，则可把吸气级压缩至轴心处的气体继续压缩至外圆一侧，如压缩级静轮两侧的螺旋方向相反，则经一侧压缩至轴心（或外圆），另一侧将继续把气体分子压缩至外圆（轴心）。即一个静轮与动轮配合能连续完成两次压缩，分子增压泵巨大的压缩比，便是这些压缩过程叠加作用的结果。由于分子之间的碰撞可以传递动量，所以分子增压泵的拖动作用可以延伸到过渡流。

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分子增压泵是一种新型的高真空泵，它Zui大的优点是清洁、节能，中真空具有超强的抽气能力，清洁真空。各种类型的真空泵由于工作机理和结构的不同所获得的真空质量是不一样的，可以分为无油真空，清洁真空和普通真空。无油真空即无任何油蒸汽污染的真空，是真空质量的Zui高境界，低温泵、离子泵以及各类干式泵可以实现无油真空。清洁真空不是无油，而是真空中的油蒸汽分压可以降到极低的水平，从而使真空质量得到很大的提升。