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分子泵的清洗：   7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。  8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，Zui少要重复一次。 9．拿出分子泵。  10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。  11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。  12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。  13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。  注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。

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一个涡轮分子泵（TMP）的是一个多阶段轴流式水轮机高速旋转的叶片提供通过增加压缩气体分子的概率在泵送方向移动。 “涡轮分子泵分子流条件和优化需要一个适当大小的两个阶段的旋转叶片泵或无油滚动泵排气气氛。

复合分子泵（CMP）的概念是基于结合分子拖动阶段刀片涡轮阶段在同一转子。这种设计允许：

?高临界前级压力（通常可达10 mbar的） ?选择使用较小的前级泵，或干膜片支持泵。

抽气速率（体积流量），是由转子直径，入口法兰尺寸和转速。抽速在高入口压力降低值的大小决定支持泵。

由于进气压力上升，电机功率耗散和泵温度升高。Zui大连续进口压力设置稳态的Zui大吞吐量限制抽水取决于用于冷却的方法。以上这种压力，旋转泵的转速降低温度传感器限制泵权力。随着水冷泵，实际Zui大吞吐量取决于支持泵的大小。