Edwards EXT255H,帕纳光电图,质普

当气体分子从某抽气通道的外圆侧进入时，它在通道内四个壁面间不停的碰撞，当碰在静止的壁面时，仅通过反射改变运动方向；当碰撞到运动的壁面时，除改变运动方向外，还可获得碰点的定向速度。由于每个抽气通道中有两个运动的壁面，且面积较大，故有较高的拖动效率。而电梯上只有一个运动的平面，另外不同于电梯运动方向和人的被拖动方向一致，气体分子在任一螺旋形的抽气通道中与动轮碰撞时所获得的定向速度或动量应该沿着该点切线方向，与螺旋通道的方向不一致，但该方向上的速度或动量在通道的螺旋方向上存在一分量（投影），该分量迫使气体分子Zui终能沿着螺旋方向从外圆被拖动到内圆一侧，从而实现了抽气作用。从本质上讲分子增压泵的拖动作用与电梯的拖动作用是完全一样的。并且可以肯定，这种拖动作用产生的抽速不存在物理上的极限，而Zui终受到制造技术的限制。

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优点

涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

气体输送能力强

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。