产品型号规格
(直径×高) |
mm
|
Φ200×300
|
Φ300×400
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Φ350×700
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Φ400×800
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中频电源功率
|
Kw
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60
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100
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140
|
150
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中频电源频率
|
Hz
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4000
|
3000
|
2500
|
1500
|
Zui高工作温度
|
℃
|
3200
|
3000
|
3000
|
3000
|
极限真空度
|
Pa
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
压升率
|
Pa/h
|
2
|
2
|
2
|
2
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恒温区温差
|
℃
|
±10
|
±10
|
±10
|
±10
|