上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 e-Mission Filament
更新时间:2023-11-03 16:31:15 信息编号:3531185 发布者IP:113.90.157.200 浏览:150次- 供应商
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- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第10年主体名称:伯东企业(上海)有限公司
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- 品牌
- KRI
- 型号
- e-Mission Filament
- 关键词
- 上海伯东,美国 KRI 考夫曼离子源, e-Mission Filament
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产品详细介绍
离子源 e-Mission
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供多个类型的低能量高密度的电子源,
从简单的热电子灯丝模式到中空阴极模式,典型应用在等离子和离子工艺中的阴极和阳极中和器, 通过专利技术完成电子的发射, 测量和束流控制,
广泛应用于对静电敏感和电介质材料领域.
离子源 e-Mission 模组化
模组化的设计有助于快速的更换维护, 节省成本. 耗材能在几分钟内进行更换, 超低的成本花费, 而且容易升级,
比如可以将浸入式灯丝的模式升级成非浸入式灯丝的模式.
离子源 e-Mission 功率控制
e-Mission 功率发生器通过严格的校准, 保障功率的发生, 测量和束流的控制,
因为电子束流的可控性可以实现负电荷的稳定性和可靠性.
离子源 e-Mission 模组
e-Mission 模组的选择取决于工艺目标, 真空系统, 运行周期和工艺材料.
离子源 e-Mission 应用
通常被用于等离子器件的理化工艺, 离子束源的中和器以及安装在磁控管阴极去改善溅射的能量, 同时也应用于分析仪器的电子源,
具体如下:
离子束中和器
等离子发生的离化
分析仪器中正相偏压电荷的中和
磁控溅射中电子流的增强
离子源 e-Mission Filament 灯丝型
灯丝电子源是一款成本低廉的阴极和中和器, 灯丝被加热到很高的温度产生可发射的热电子. 结构简单容易安装和使用, 可快速更换.
特别适合于快速回圈的工艺和执行时间较短的真空设备.
KRI 考夫曼离子源 e-Mission
Filament
Model |
HFx |
SHC 1000 |
DSHC 1000 |
Cathode |
Yes |
Yes |
Yes |
Neutralizer |
Yes |
Yes |
Yes |
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
Regulation |
Emission |
Emission |
Emission |
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗女士
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