上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
更新时间：2023-11-03 16:31:16 信息编号：3531202 发布者IP：113.90.157.200 浏览：142次
- 供应商
- 伯东企业(上海)有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第10年主体名称：伯东企业(上海)有限公司
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- KRI
- 型号
- e-Mission Hollow
- 关键词
- 上海伯东美国 ,KRI 考夫曼离子源,提供中空阴极, e-Mission Hollow Cathodes
- 所在地
- ec@hakuto-vacuum.cn
- 联系电话
- 021-50463511
- 手机号
- 13918837267
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产品详细介绍
离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻,
可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的.
而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言,
使用中空阴极更有优势.
离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号
|
Model |
HFx |
SHC1000 |
DSHC1000 |
|
Cathode |
Yes |
Yes |
Yes |
|
Neutralizer |
Yes |
Yes |
Yes |
|
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Regulation |
Emission |
Emission |
Emission |
|
Operational gas |
None |
Inert |
Inert |
|
Process gases |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
|
Power Controller |
FC100x |
e- Mission Power Pack |
e- Mission Power Pack |
|
Model |
MHC1000 |
LHC1000 |
|
Cathode |
Yes |
Yes |
|
Neutralizer |
Yes |
Yes |
|
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Regulation |
Emission |
Emission |
|
Operational gas |
Inert |
Inert |
|
Process gases |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
|
Power Controller |
e- Mission Power Pack |
e- Mission Power Pack |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司,
研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40
年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域,
上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗女士
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