上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH 1000
更新时间：2023-11-03 15:56:54 信息编号：3340544 发布者IP：113.90.157.200 浏览：254次
- 供应商
- 伯东企业(上海)有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第10年主体名称：伯东企业(上海)有限公司
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- KRI
- 型号
- eH 1000
- 关键词
- 上海伯东代理,美国原装进口, KRI 霍尔离子源, eH 1000
- 所在地
- ec@hakuto-vacuum.cn
- 联系电话
- 021-50463511
- 手机号
- 13918837267
- 微信号
- 13918837267
- 联系人
- 叶小姐 请说明来自顺企网，优惠更多
产品详细介绍
KRI 霍尔离子源 eH 1000
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH
1000, 低成本设计提供高离子电流, 特别适合中型真空系统. 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.
尺寸: 直径= 5.7“ 高= 5.5”
放电电压 / 电流: 50-300V / 10A
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体
KRI 霍尔离子源 eH 1000 特性:
• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, *大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
• 宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
• 多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便; 无需水冷
• 等离子转换和稳定的功率控制
KRI 霍尔离子源 eH
1000 技术参数:
|
型号 |
eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO |
|
供电 |
DC magnetic confinement |
|
- 电压 |
40-300V VDC |
|
- 离子源直径 |
~ 5 cm |
|
- 阳极结构 |
模块化 |
|
电源控制 |
eHx-30010A |
|
配置 |
- |
|
- 阴极中和器 |
Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
|
- 离子束发散角度 |
> 45° (hwhm) |
|
- 阳极 |
标准或 Grooved |
|
- 水冷 |
前板水冷 |
|
- 底座 |
移动或快接法兰 |
|
- 高度 |
4.0' |
|
- 直径 |
5.7' |
|
- 加工材料 |
金属 |
|
- 工艺气体 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
|
- 安装距离 |
10-36” |
|
- 自动控制 |
控制4种气体 |
* 可选: 可调角度的支架; Sidewinder
KRI 霍尔离子源 eH 1000 应用领域:
• 离子辅助镀膜 IAD
• 预清洗 Load lock preclean
• 预清洗 In-situ preclean
• Direct Deposition
• Surface Modification
• Low-energy etching
• III-V Semiconductors
• Polymer Substrates
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗女士
- KRi 大尺寸射频离子源树脂镜片高性能 AR 工艺KRi大尺寸射频离子源树脂镜片高性能AR工艺树脂为手机行业目前*常用的镜片基材,为了减少镜片反射,*...
- KRi 射频离子源应用于红外截止滤光片 IRCF 工艺KRi射频离子源应用于红外截止滤光片IRCF工艺上海伯东某客户为精密光学镀膜产品生产商,生产过程中需...
- KRi 离子源应用于蓝玻璃 AR工艺KRi离子源应用于蓝玻璃AR工艺配备800万或以上像素的高端手机都基本内嵌蓝玻璃滤光片的摄像头.蓝玻...
- 上海伯东 Pfeiffer 涡旋干泵 HiScroll 全新升级上海伯东Pfeiffer涡旋干泵HiScroll全新升级上海伯东德国Pfeiffer涡旋干泵HiSc...
- 【新品上市】Gel-Pak 芯片包装盒 Chiplets 运输Gel-Pak芯片包装盒为Chiplets的运输安全性保驾护航Chiplets在国内通常被称为“芯粒...
上海伯东代理在线质谱分析仪OmniStar品牌：pfeiffer- 上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼型离子源 RFICP 100品牌：KRI
- 伯东普发吸枪便携式氦质谱检漏仪ASM 102S品牌：德国普发
- 伯东普发氦质谱检漏仪 ASM 192T品牌：德国普发
- 伯东代理 pfeiffer 氦质谱检漏仪ASM 182品牌：德国普发
- 上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH 3000品牌：KRI
- 上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 40品牌：KRI
- 伯东氦质谱检漏仪 ASM 340D品牌：pfeiffer
- 上海伯东氦质谱检漏工作站 ASM 1002品牌：Pfeiffer
- 上海伯东代理涡旋干泵 HiScroll干式涡旋泵品牌：pfeiffer
