12寸半自动晶圆贴膜机 海展

半自动晶圆贴膜机

(型号:swm-200)

1.1框架尺寸: 12英寸（disco或者k&s任选一种）

1.2膜种类:蓝膜或者uv膜

宽度: 380-400毫米

长度: 100~200米

厚度: 0.05~0.2毫米

1.3晶圆规格：12英寸

1.4贴膜原理:防静电滚轮贴膜（自动贴膜）

1.5工作台盘:特氟隆涂层接触式台盘

1.6装卸方式:产品手动放置与取出

1.7切割系统: 直线刀切割仅在框架以外2-3毫米处，圆切割刀顺时针方向旋转切割。

独特的直切刀技术保证在同类机台胶膜应用Zui节省

1.8产品定位: chuck table上对应wafer形状的刻线，真空吸固定wafer

1.9电力供应: 单相交流电220v,5a

1.10压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺

1.11体积: 660毫米(宽)*1050毫米(深)*510毫米(高)

1.12净重:70公斤

2.机器性能:

2.1晶圆收益: >=99.9%

2.2贴膜质量:没有气泡(不包括碎粒气泡)

2.3每小时产能: >=80片

3.安装,培训及验收:

3.1卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试

3.2卖方给于买方内部操作员工,工程师,维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定独立地操

作机器

4.保修条款:

4.1卖方保证设备完全满足买方正常生产要求及购买规格
4.2保修期为买方正式验收起12个月内