JCP-450磁控溅射镀膜机
更新时间:2024-09-01 09:00:00 信息编号:1274805 发布者IP:183.162.233.33 浏览:672次![](http://img22.11467.com/2022/04-02/1709724872.jpg)
- 供应商
- 安徽纯源镀膜科技有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第3年主体名称:安徽纯源镀膜科技有限公司组织机构代码:91340100394452746Q
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 北京泰科诺
- 型号
- JCP-450
- 所在地
- 合肥市高新区大别山路1599号
- 联系电话
- 0551-63652293
- 手机号
- 18356509334
- 联系人
- 舒平 请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍
品牌 | / |
型号 | / |
用途 | 开发纳米级单层及多层的导电膜、半导体膜、绝缘膜以及镍、钴磁性材料等 | 别名 | 磁控溅射镀膜机 |
该设备具有多靶磁控溅射功能,标配2只4inch磁控靶,预留1对蒸发电极,能够溅射蒸发两用;溅射靶采用波纹管结构,方便调整角度;溅射靶中频电源溅射取代传统直流溅射,改善靶的电弧放电及“中毒”现象。 该设备主要用来开发纳米级单层及多层的导电膜、半导体膜、绝缘膜以及镍、钴磁性材料等,基片台加负偏压可实现基片反溅清洗功能。
技术参数
真空腔室:φ450 mm×h400mm
真空系统:复合分子泵+直联旋片泵,气动真空阀门,“两低一高”数显复合真空计
真空极限:优于8.0×10-5pa
抽速:从大气抽至6.0×10-3pa≤15min
可镀膜尺寸:3英寸1片,散片若干
基片加热与旋转:衬底加热:室温~600℃,自动测温,pid控温;基片旋转:0-20转/分钟,可调可控
溅射靶规格:4英寸,标配2只,另预留1对蒸发电极(中频溅射+射频溅射)
膜厚不均匀性:≤±5%
控制方式:手动按钮控制
报警及保护:对泵、靶、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施
占地面积:长×宽2200×1400mm
主要经营:真空镀膜、镀膜PVD工艺、功能性膜层、镀膜设备销售、涂层加工服务、镀膜服务、纳米微米膜层、镀膜设备制造、镀膜加工服务、定制镀膜设备、纯离子镀膜、多弧磁过滤、磁控溅射、物理气相沉积、离子刻蚀机。
安徽纯源镀膜科技有限公司是由新加坡归国创业团队于2014年创立的高科技公司,坐落于合肥市蜀山区大别山路1599号。主要从事真空纳米、微米级高端镀膜装备的设计、研发和制造;并提供多种功能膜层的工艺开发和 ...
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