美国IST公司 Repellix 原子层沉积表面改性
更新时间:2016-08-17 10:52:16 信息编号:4287305 发布者IP:116.231.213.4 浏览:216次- 供应商
- 北京哲勤科技有限公司 商铺
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- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第11年主体名称:北京哲勤科技有限公司组织机构代码:110108005733594
- 报价
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- 品牌
- PVA TePla-IST
- 型号
- RPX-540
- 型号
- RGM-560
- 关键词
- 纳米级超疏水,防水防锈,高均匀性,原子沉积
- 所在地
- 北京市经济开发区景园街10号大琛科技园
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- 86-021-61061958
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产品详细介绍
美国ist(integrated surface technologies)公司 repellix 原子层沉积表面改性(亲水、超疏水、防水设备)
——美国ist公司为pva tepla的战略合作公司
型号:rpx-210, rpx-540, rpx-560
典型应用:
表面改性(微流控芯片管道表面改性)
mems表面抗粘合层(提高mems器件的抗摩擦性)
半导体制造和封装涂层
dna微阵列
生物兼容性改性
亲水 μ流体薄膜
疏水保护薄膜()
提高表面粘附性
无机氧化物原子沉积
控制:
pc精密控制,形成单分子层,可设置连续或交替进行。
灵活的控制系统,允许自行设计工艺,形成特色纳米结构。
同一设备更换不同单体可完成不同工艺。
优势:
灵活的工艺步骤
自然沉积,均匀性极高
重复性好
低成本
适用大批量生产
配置:
腔体大小:317.5×243.84×254 mm
运行真空度:10 torr(100℃)
腔室温度:85℃
设备大小:1016×965.2×914.4 mm
回充气体:n2 或cda (5.5 bar)
pc控制
多达32,000可编程步骤
相关产品:纳米级超疏水 , 防水防锈 , 高均匀性 , 原子沉积
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