德国PVA-Tepla等离子体去胶机
更新时间:2016-09-13 15:54:57 信息编号:2813301 发布者IP:140.206.155.70 浏览:1015次- 供应商
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- 品牌
- pva-tepla
- 型号
- Ion Wave 10
- 关键词
- 等离子体,去胶机,PVA TePla,TePla
- 所在地
- 北京市经济开发区景园街10号大琛科技园
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产品详细介绍
进口pva tepla等离子体去胶机(整机进口)
规格参数:
2.45ghz风冷微波电源(0~600w可调)/13.56mhz风冷射频电源(0~600/0~300w可调)
石英/铝/陶瓷腔体,
Zui多6路气体,mfc控制
兼容8英寸及以下晶圆
pc工控机控制,运行数据实时存储
操作分级权限管理
图形化触控屏操作,运行状态实时显示
可选配法拉第桶
可选配水冷温控装置
可选配压力控制系统
外形尺寸:775×749×781 mm / 775×723×781 mm
应用领域:
去除光刻胶 photo-resist stripping
去除残胶 wafer descum
晶圆和衬底的清洁 wafer and substrate cleaning
su-8灰化 su-8 ashing
氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀 etching of silicon nitride, pi, etc.
刻蚀钝化层 etching of passivation layers
逆向分析/失效分析中的器件开封 device decapsulation for failure analysis
微量分析中低温材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysis
认证:
ce 认证
en 61010
en 61326
semi e95
iso 9001
cispr 55011
相关产品:等离子体 , 去胶机 , PVA , TePla , TePla
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