青岛福润德微电子设备有限公司 太阳能光伏扩散炉
更新时间:2015-10-08 08:40:14 信息编号:3941772 发布者IP:112.225.83.145 浏览:87次产品详细介绍
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
技术指标:
u可处理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
u外型形式:卧式1—4管结构
u载片量:400片/管
u扩散方式:闭管扩散、软着陆全封闭
u工作温度:200℃—1300℃
u恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
u单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h
u温度控制:5段控温
u总功率:120KVA
u送片装置:悬臂推拉舟,碳化硅桨Zui大载重17kg
u气路系统:1—5路工艺气体/管
u气体控制:进口MFC
u控制方式:工控机、触摸屏
uThinnerwafers:180Um
uBreak rate:0.8%
u方阻均匀度范围:片内±5%,片间±5%,批间±5%
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