青岛福润德微电子设备有限公司 井式真空炉
更新时间:2015-09-30 09:43:25 信息编号:3933106 发布者IP:119.167.28.95 浏览:99次产品详细介绍
井式/立式真空炉主要用于半导体器件烧结、封焊,太阳能电池片烘干、焊接及金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的工艺
。
井式真空炉主要技术参数
u真空室工位数:1-3位
u真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
u工作温度:<1000℃
u充气的Zui高压强:0.3Mpa(可控)
u不锈钢内胆:Φ150-Φ350x1300mm(用户自定)
u恒温区:600-1200mm±1℃
u控温方式:三点三段采用原装进口高精度控温仪
u控温曲线:9段升降温/999小时
u工作方式:自动或手动自由转换
u单点精度:±1℃/24h
u正压、负压均采用数字显示表
u可多工位同时工作
相关产品:井式真空炉