四氟化碳-四氟甲烷-佛山科的公司

更新时间:2015-01-22 11:02:38 信息编号:3302594 发布者IP:121.9.251.190 浏览:121次
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佛山市科的气体化工有限公司
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佛山科的
四氟化碳
关键词
四氟化碳,四氟甲烷
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www.kdgc.cn 广东省佛山市南海区大沥仙溪 佛山高新区
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0757-85599128
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产品详细介绍

 佛山科的公司-国家高新技术企业-国家创新基金支持企业

专业生产:四氟化碳四氟甲烷

 

四氟化碳(cf4)

项目

指标纯度%

四氟化碳(cf4)

99.999%

99.9997%

99.99994

 

 

杂质含量

 

 

 

氮气

﹤5ppm

﹤1ppm

 

氧气

﹤2ppm

﹤0.5ppm

﹤100ppb

氩气

-

-

﹤20ppb

氢气

-

﹤0.5ppm

﹤100ppb

总烃

﹤1ppm

﹤0.1ppm

﹤50ppb

一氧化碳

﹤1ppm

﹤0.1ppm

﹤50ppb

二氧化碳

﹤1ppm

﹤0.25ppm

﹤100ppb

﹤2ppm

﹤1ppm

﹤200ppb

主要用途:
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是Zui稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量Zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

四氟化碳参数说明http://www.kdgc.cn/getknowledge/zh-cn/p288.aspx

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佛山市科的气体化工有限公司

 

国家高新技术企业

 

国家科技创新基金支持企业

 

通过iso9001和iso14001认证

 

专业生产制造商

 

相关产品:特种气体;特殊气体;高纯气体;电子气体;六氟化硫(sf6);四氟化碳(cf4);一氧化氮(no);高纯二氧化碳(co2);氧化亚氮(n2o);高纯甲烷(ch4);乙烷(c2h6);高纯丙烷(c3h8);高纯丙烯(c3h6);正丁烷(n-c4h10);异丁烷(i-c4h10);灭菌气体;环氧乙烷杀菌气;环氧乙烷薰蒸气体

 

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相关产品:四氟化碳 , 四氟甲烷
所属分类:中国化工网 / 其他气体
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