| 产品名称 | 四氟化碳-四氟甲烷-佛山科的公司 |
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| 公司名称 | 佛山市科的气体化工有限公司 |
| 价格 | 面议 |
| 规格参数 | 佛山科的:四氟化碳 |
| 公司地址 | www.kdgc.cn 广东省佛山市南海区大沥仙溪 佛山高新区 |
| 联系电话 | 0757-85599128 |
佛山科的公司-国家高新技术企业-国家创新基金支持企业
专业生产：四氟化碳四氟甲烷
四氟化碳（cf4）
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项目 |
指标纯度% |
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四氟化碳（cf4） |
99.999% |
99.9997% |
99.99994 |
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杂质含量
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氮气 |
﹤5ppm |
﹤1ppm |
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氧气 |
﹤2ppm |
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
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氩气 |
- |
- |
﹤20ppb |
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氢气 |
- |
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
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总烃 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
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一氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
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二氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.25ppm |
﹤100ppb |
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水 |
﹤2ppm |
﹤1ppm |
﹤200ppb |
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主要用途:
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
四氟化碳参数说明http://www.kdgc.cn/getknowledge/zh-cn/p288.aspx
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佛山市科的气体化工有限公司
国家高新技术企业
国家科技创新基金支持企业
通过iso9001和iso14001认证
专业生产制造商
相关产品:特种气体;特殊气体;高纯气体;电子气体;六氟化硫(sf6);四氟化碳(cf4);一氧化氮(no);高纯二氧化碳(co2);氧化亚氮(n2o);高纯甲烷(ch4);乙烷(c2h6);高纯丙烷(c3h8);高纯丙烯(c3h6);正丁烷(n-c4h10);异丁烷(i-c4h10);灭菌气体;环氧乙烷杀菌气;环氧乙烷薰蒸气体
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