无接触式硅片厚度、TTV、电阻率测量仪Dsi2000
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产品详细介绍
本设备是一款手动无接触式测量仪，采用测量原理为电容法和涡流法，测量操作简单，强大的数据处理功能，支持多种格式的数据报告。
测量指标如下：
硅片规格：
方片:125x125mm、156x156mm
圆片:3″、4″、5″、6″、8″
测试功能：
厚度：单点及多点厚度
TTV：总厚度偏差
体电阻率：单点及多点体电阻率
厚度指标:
测量范围：150μm-1000μm(可调）
偏差：≤±1.0μm
重复性：1σ≤0.2μm
长时间稳定性(10小时：1σ≤0.15μm
TTV指标:
测量范围：0.0μm-200μm
偏差：≤±0.5μm
重复性 ：1σ≤0.2μm
电阻率指标:
测量范围：0.1Ω.cm-30Ω.cm
偏差：≤±3%*R
重复性：1σ≤1.5%*R
测试环境要求：
温度范围：15～27℃
湿度范围：35%～85%
