6寸等离子去胶机 启航 打胶机
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产品详细介绍
| 品牌 | 启航 | 型号 | PE-4A |
| 别名 | 打胶机 | 用途 | 干法去胶 |
| 气源 | 60-1500M（L/min） |
| 使用电源 |
三相四线380v 50hz，功耗2.6kw
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| 反应室结构 |
圆筒形反应室,外电极或多层平板电极,反应室尺寸φ273mm×690mm
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| 装片量 |
6英寸-100片 (配用石英舟)
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| 射频电源 |
13.56mhz 1.5kw
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| 配用真空泵 |
2x-8
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| 去胶工作时真空度 |
15-28pa
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| 去胶速率 |
大于50nm/min
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| 时间控制 |
小于99分钟
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| 气路系统 |
2路
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| 外型尺寸 |
1250mm×800mm×1350mm
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| 整机重量 |
196kg
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