6寸等离子去胶机 启航 打胶机
信息编号:826613 浏览:134次产品详细介绍
品牌 | 启航 | 型号 | PE-4A |
别名 | 打胶机 | 用途 | 干法去胶 |
气源 | 60-1500M(L/min) |
使用电源 |
三相四线380v 50hz,功耗2.6kw
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反应室结构 |
圆筒形反应室,外电极或多层平板电极,反应室尺寸φ273mm×690mm
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装片量 |
6英寸-100片 (配用石英舟)
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射频电源 |
13.56mhz 1.5kw
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配用真空泵 |
2x-8
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去胶工作时真空度 |
15-28pa
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去胶速率 |
大于50nm/min
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时间控制 |
小于99分钟
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气路系统 |
2路
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外型尺寸 |
1250mm×800mm×1350mm
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整机重量 |
196kg
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