增强离子刻蚀机 L.D 380（V）
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产品详细介绍
| 品牌 | L.D | 型号 | RIE-2 |
| 输入电压 | 380（V） | 外形尺寸 | 1250*1350*850（mm） |
高密度等离子体(hdp)去胶刻蚀机
高密度等离子体(hdp)是由传统的等离子体装置,通过增加电场和磁场使电子产生回旋共振而增强的等离子体，与传统的等离子体系对比离子浓度超过几倍至几十倍，所以高密度等离子体(hdp)是一种比较理想的装置，用于刻蚀（去胶）时速率明显提高，缩短了反应时间，节约气体和电能，是传统刻蚀去胶机的替代产品，值得推广应用。
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