Genesis-II 分析型扫描电镜（驰奔仪器）

Genesis-II型（510plus）是驰奔仪器第二代钨丝枪系列扫描电镜之中型分析电镜。

Genesis-II型扫描电镜是全数字化控制，专业级电子显微成像分析仪器，。GenesisII型采用立方结构样品室，拓展为中型样品仓，具有更大的有效分析空间，全内置五轴优中心自动样品台，更大的自由行程，更好满足电子显微拓展分析需要。510plus增加BSE探测器和低真空功能。

硬件特征：

全数字控制，结构紧凑，实用分析空间大； 

主机电器一体化，占地小便于移动  ；

中型样品仓，接配专业EDS、WDS、EBSD、CL等，分析附件探测器更协调工作 ； 

优中心样品，五轴马达驱动，计算机导航 ；

二次电子（SE）、背散射电子（BSE）,双探测器成像。

*精密五轴自动样品台
*优中心样品台
*多工位，更大，更多样品装载，更高效率工作  

完全内置样品台，无真空贯穿活动密封，高可靠。

软件特征：

用户友好：包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制；

特殊样品：动态聚焦（DF）、倾斜补偿；

高效拍照：自动照相（Auto Imaging）；

大图拼接：连续视野照片缝合；

信号探测：支持SE、BSE、STEM同时；

鼠标键盘操作，简易快捷。

安装示意图

适用范围：

扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域，材料微区结构形貌成分表征，
适用于科学研究，工业产品失效分析，产品可靠性控制。强大拓展能力，实现更精准的电子显微分析。

性能指标：

型号

Genesis-510plus  全自动专业入门级扫描电镜

样品台

五轴优中心，全自动

X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm |  R:360°无限 | T:-20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV （Zui大发射电流190μA @ 30KV/Zui大电子枪功率：5.7W)

探测器

ET-SED

                             四分割半导体背散射电子探测器

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( SE Image)
5nm @30KV (BSE Image)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口

Zui大样品尺寸

Φ150mm X60mm

工作距离

0-60mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm， 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变

TV模式：800x 600像素 

慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。

照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、Zui大3200x2400像素

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

扫描模式
动态聚焦，倾斜补偿，点、线扫描真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空模式10-230pa

真空系统

全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟）

-涡轮分子泵       
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，

自动照相，自动大图拼接缝合

软件系统

基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

600(W）x623（D）x 1350（H）mm /130kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具

可选配置

3D重构成像软件 | CCD摄像头 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置  （第三方）