Cube200台式扫描电镜 (驰奔仪器)

Cube200型属于【驰奔仪器】第二代钨灯丝扫描电镜系列之微型电镜产品

Cube-200型台式扫描电镜是全数字化控制，专业级电子显微成像仪器。
配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，多孔径光阑，轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图；拓展简单易用X-射线能谱仪EDS，可对样品微米亚微米范围内感兴趣区进行快速化学元素定性定量分析；在工作条件固定模式下，Cube-200也是一款高效率的电子显微成像分析检测装备。

硬件特征：

全数字控制，专业级电子显微成像仪器；

标配SE探测器，选配BSE探测器 ；

可选样品仓低真空环境功能，直接测试非导电样品；

可选内置一体化简单易用EDS；

XYZ三轴大行程自动样品台，可选RT轴自动控制（降低Z轴行程）；

多重弹簧橡胶隔振减振系统；

主机设计紧凑，系统高度集成，良好散热及电磁兼容性能；

轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。

软件特征：

用户友好：包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制；

特殊样品：动态聚焦（DF）、倾斜补偿；

高效拍照：自动照相（Auto Imaging）； 大图拼接：连续视野照片缝合； 

信号探测：支持SE、BSE、STEM同时；

※鼠标键盘操作，简易快捷。

安装示意图：  

性能指标：

型号

Cube-200                      专业级桌面台式扫描电镜

样品台

XYZ三轴自动，RT手动
-X: 45mm            （自动）
-Y: 45mm            （自动）
-Z: 5-50mm         （自动）
-R: 360°无限         （手动）
-T: ±90°               （手动）

电子枪

预对中钨灯丝，三极自动偏压，偏压与加速电压关联

加速电压

200V-30KV ，数字化高压电源，连续可调

探测器

E-T型  SE detector； 四分割半导体固体BSE detector（选购）

物镜光阑

四孔位可变光阑，20~100μm

分辨率

5nm @30KV  Se Image；8nm@30KVBse Image

放大倍数

20x-300,000 x

样品室

Se、Bse、EDS探测器接口， 4个其他接口

Zui大样品尺寸

Φ90mm  x 45mm（H）

工作距离

0-48mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm， 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变

TV模式：800x 600像素 

慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。

照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、Zui大3200x2400像素

扫描

动态聚焦，倾斜补偿，自动照相存储

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空系统

全自动真空系统，真空高压连锁安全保护

-涡轮分子泵    

-旋片式机械真空泵

-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等

-高真空优于7.5x10-3Pa  （从大气到达高真空小于3分钟）

-低真空模式 10-230Pa  （选配）

自动功能

亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，自动照相存储

软件系统

基于Win10，Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，专用工具