PE-CVD
更新时间:2021-11-16 15:45:03 信息编号:5427872 发布者IP:101.20.43.175 浏览:582次- 供应商
- 北京维意真空技术应用有限责任公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第9年主体名称:北京维意真空技术应用有限责任公司组织机构代码:91110228069571936J
- 报价
- 人民币¥200000.00元每台
- 关键词
- 化学气象沉积,镀膜机,等离子
- 所在地
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 联系电话
- 010-67947887
- 手机号
- 15611171559
- 销售部经理
- 于磊 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
三温区PE-CVD技术参数
名称 |
规格 |
|
产品名称 |
PECVE智能一体机 |
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显示模式 |
7"真彩触摸屏液晶显示(LCD) |
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温度曲线 |
30段"时间—温度曲线"任意可设 |
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预存曲线 |
可预存15条温度曲线 |
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操作界面 |
图形界面提示,触摸屏输入 |
实时监控,动态显示“时间-温度曲线” |
超温报警 |
有 |
|
断偶提示 |
||
测温元件 |
S型热电偶 |
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升温速率 |
0-30 ℃/min |
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工作电源 |
AC380V /50HZ |
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整机功率 |
12KW |
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温度 |
1400℃ |
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长期工作温度 |
1350℃ |
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加热区域 |
三个加热区域 |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制, |
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质量流量计:四路 |
型号采用D07-7及对应显示仪表 |
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气体种类 |
氢气:200sccm甲烷:100 sccm氮气:750 sccm氩气:300 sccm |
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射频电源 |
功率500w,频率:13.56MHz |
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真空计 |
测量范围0.01-100000Pa |
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真空泵 |
TRP-36 |
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真空度 |
5Pa |
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手持式测温仪 |
S型热电偶 长度500mm |
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刚玉管 |
100*2000 |
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石英管 |
80*2000 |
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软件功能 |
1:加热温区移动速度触摸屏可以调节。 2:射频电源开启时间,可以设定,时间到后自动停止射频电源。 3:自动切换气体功能,(不同温度通入不同气体,或者根据需 求进行定做)。 4:自动检测真空度,根据真空度的大小,自动启动射频电源。 5:真空泵自动启动,根据真空度,系统自动判断是否需要启动 真空泵。 6:其他功能根据要求定做. |
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包装模式 |
三合板木质包装箱 |
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随机配件 |
石英舟3只;刚玉坩埚3只;炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。 |
相关产品:化学气象沉积 , 镀膜机 , 等离子
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