等离子增强化学气象沉积镀膜机
更新时间:2021-11-16 15:45:04 信息编号:5427861 发布者IP:101.20.43.175 浏览:105次- 供应商
- 北京维意真空技术应用有限责任公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第9年主体名称:北京维意真空技术应用有限责任公司组织机构代码:91110228069571936J
- 报价
- 人民币¥450000.00元每台
- 关键词
- 定制,等离子,CVD,PE-CVD,镀膜机,化学气象沉积
- 所在地
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 联系电话
- 010-67947887
- 手机号
- 15611171559
- 销售部经理
- 于磊 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
1、整体设备采用聚簇式结构:
a.样品室作为转换室,可实现3*5片样品的自动传递与收纳;
b.3个反应室合理分布在样品室周边,真空密封连接;
c.反应室加热温度分别是1200℃、1400℃、1700℃,显示精度
0.1℃,控制精度±0.5℃,30段程序控温,超温、断偶报警
功能;
d.反应室具备样品淬火冷阱,便于实现设计工艺要求;
e.其中之一反应室为石英腔室,可方便观察内部样品沉积状况,
其他两个反应室应设置石英观察窗口,便于观察及测量;
f.中控区域置于合理操作区域,并尽量与整体设备合理布局,减
少占地面积;
g.中控机构控制部分采用工业PLC控制,人机界面采用嵌入式触
摸屏;
h.整体设备做到去仪表化,减少仪表的使用,要求工控集成度高;
i.控制部分可实现自动化与手动化操作的兼容性和可切换性;
j.人机界面具备不同实验组数据区别存储化、数据U盘库导入/
出功能、界面曲线表格化。
2、样品直径尺寸2英寸,厚度1mm,样品根据实验功能化,需要对设备提出如下要求:
a.样品在高温状态反应结束后,需迅速进入急冷状态,实现淬火;
b.样品在反应室坩埚升温至所需反应温度过程中不可与反应物接
触,减少在升温过程的沉积几率,提高实验数据准确性;
c.样品在反应室内不得出现侧翻、放置不平等影响镀膜的状况出
现。
3、设备工作真空度要求:
a.整体设备真空度≤5Pa,漏率≤10-7Pa L/s;
b.设备可实现自动、手动稳压、恒压的功能。
4、设备充气要求:
a. 设备充气系统分为4路质量流量计控制流速,气体流量范围为
0-200sccm,误差为±1.5%;
b. 设备充气系统可实现自动、手动稳压、恒压的功能。
5、3个反应室等离子体辉光放电采用射频电源:
a.射频频率:13.56MHz;
b.射频功率输出范围:5~500W。
6、设备基本参数:
a.额定总功率20KW;
b.380V,三相四线制;
c.占地面积4m*4m;
d.总重量400Kg。