顶层介质刻蚀双通道chiller用于蚀刻装置

半导体专用温控设备（Chiller）主要用于半导体制造过程中准确控制反应室的温度。半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可缺的关键设备。

半导体专用温控设备（Chiller）依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内，将热量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。