


M32-01 空气多点采样器
在大型洁净室运行非关键制程时,无需进行连续粒子监测,此时可选用可靠的定期粒子检测方案,精准收集粒子污染趋势数据。借助气溶胶多点采样系统开展监测工作,能够用更少的仪器实现更高效的定期粒子检测——通过一台粒子计数器兼容32个采样端口,灵活切换不同监测位置,有效提升生产效率与产品良率。

可实现多路监控,ZUI多支持32个监测位置
洁净净化所需时间短,提升监测整体效率
单个采样点的成本经济实惠,降低整体投入
具备双向控制功能,操作灵活便捷
采样管ZUI大可实现38.1米(125英尺)的样本传输距离
支持可编程采样点序列,可根据需求灵活设置监测流程
可通过TSI FMS软件实现统一控制,简化操作流程
兼容TSI 1 CFM(28.3 L/min)规格的AeroTrak™便携式粒子计数器及AeroTrak 7110远程粒子计数器
集成式控制器设计,ZUI大限度降低设备操作复杂度
配备压力传感器端口,确保真空流稳定,保障监测精度
符合ISO 14644-1标准,该标准作为洁净室空气洁净度分级的核心标准,明确了悬浮颗粒物浓度的测量规范,可保障监测数据合规可靠、具备国际通用性。
请注意——32-01型多点采样器目前可发运至中国、印度、日本、韩国、墨西哥、新加坡、台湾地区及美国。

主要用于各类场景下的粒子污染监测工作。









