发格FAGOR 提供高精度增量/juedui式光栅尺

一、产品概述

产品类型：非接触增量式/式光栅尺

核心用途：用于直线运动系统的位置控制与位置测量

目标应用领域：半导体制造、测试和测量系统、印刷设备，以及与线性电机的集成应用

产品组成：由读数头和带栅格的测量钢带两部分构成，采用模块式设计，相比集成式测量系统安装更便捷

二、核心优势

非接触无密封结构，电机启动无需额外力矩，运行损耗低、更顺畅

参考标记集成于增量刻线轨道，缩小钢带尺寸，支持通过磁体选择参考标记，灵活适配不同定位需求

输出信号类型丰富，含 1Vpp 正弦波信号或高分辨率达 25nm 的 TTL 方波信号，满足多样设备需求

高精度表现突出，精度达 ±5μm/m，重复性优异，与数控系统配合可实现平稳可靠控制

钢带安装方式灵活，提供自带背胶安装、导向加强板安装、导向加强板安装（两端张紧）三种方式；0.3mm 带背胶钢带可裁剪至所需长度，进一步提升组装便利性

三、关键技术参数

测量方式：增量型，基于栅格间距为 20μm 的不锈钢钢带栅尺，涵盖 ITRD、ITRX、ITRY、ITRW、ITRZ、ITRV 型号

钢带热膨胀系数：α therm ≈ 11 ppm/K

分辨率：5μm、1μm、0.5μm、0.1μm、0.05μm、0.025μm

输出信号：差分 TTL

信号周期：对应不同分辨率分别为 20μm、4μm、2μm、0.4μm、0.2μm、0.1μm

参考标记 I₀类型：ITR□型每 50mm 一个参考标记，读取并输出所有信号；ITS□型通过磁体选择参考标记并输出信号

限位信号：开集极输出，低电平有效，由磁体激活

大电缆长度：可达 30m（详细信息可咨询发格自动化公司）

电源要求：5V±10%，空载电流＜250mA

读数头连接：自带 1 米或 3 米电缆，电缆终端带连接器

读数头防护等级：IP40

精度：±5μm/m

抗振性能：200m/s²（55…2000Hz），符合 IEC 60068-2-6 标准

抗冲击性能：1000m/s²（11ms），符合 IEC 60068-2-27 标准

工作温度：0℃…70℃

储存温度：-20℃…70℃

相对湿度：20℃环境下，相对湿度 80%