过滤器福雪莱过滤系统

本过滤器专为硼扩散工艺（如半导体制造、光伏电池生产）设计，用于高效捕集尾气中的氧化硼（B₂O₃）、硅粉、气溶胶等超细粉尘（粒径≤10μm），有效防止工艺设备堵塞、保护真空泵并避免环境污染。

典型安装位置：在硼扩散反应系统中，建议按以下气流方向配置：炉管 → 冷却石英瓶 → 本过滤器 → 隔膜真空泵 → 酸排管。

高效过滤：采用优质滤材，对超细粉尘及气溶胶的过滤效率 ≥90%。多级过滤设计，有效降低终端负荷。

设备保护：显著减少粉尘及腐蚀性气体进入真空泵，延长泵体寿命，维持系统真空度稳定，降低非计划停机。

经济高效：延长保养周期，减少滤芯更换与设备维修频次，综合运行成本低。

安全环保：有效防止有害硼粉尘外泄，改善工作环境，助力符合环保法规。

便捷维护：模块化设计，安装与维护简便，支持定制化尺寸与流量。

N型TOPCon电池硼扩散

PERC电池背面硼扩散

IBC电池硼掺杂

过滤器通过内部滤芯的精密物理结构，拦截并吸附气流中的固体颗粒及气溶胶污染物。过滤精度与效率取决于滤芯的材质与孔径