种类 | 单晶硅棒 |
单晶硅棒的质量标准
项目 |
标准 |
生产工艺 |
cz |
晶向 |
〈100〉:≤3.0º |
导电类型 |
p |
掺杂 |
b |
少子寿命 |
>10μs |
电阻率范围 |
0.5-3ω·cm、3-6ω·cm |
电阻率均匀性 |
≤6% |
氧含量 |
<1.0×1018at/cm3 |
碳含量 |
<5×1016at/cm3 |
直径 |
≥150mm |
端面弯曲度 |
≤0.2mm |
位错密度 |
≤3000/cm2 |
单根棒长度 |
根据需求 |
星形结构、孔洞、六角网络、裂纹、硬伤 |
无 |